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韩国科技媒体5月28日报道,韩国化工材料企业PKC,正将其半导体级高纯氯气产能扩大50%,并且在近期已启动扩产工程,年产能将从约1400—1500吨提升至2100—2200吨,投资规模预计达数百亿韩元。
消息称,此次扩产是与三星电子预先商议后敲定, 扩产主要原因是随着更高层数NAND闪存量产,刻蚀气体需求激增,同时三星电子对高纯氯化氢的供应需求也在提升。 业内人士表示,氯气扩产必须提速,以匹配三星下半年扩大氯化氢采购的计划。
一方面,氯气是半导体刻蚀工艺的关键特种气体,主要用于铝、铜等金属互联层刻蚀,要求纯度达到5N(99.999%)以上的超高纯等级。当前NAND闪存厂商已突破200层,并向300层以上竞争。NAND通道孔刻蚀对氯气的消耗量,显著高于DRAM;在GAA环绕栅极、FinFET等先进代工工艺中,氯气用量同样巨大。
另一方面,氯化氢需求快速增长。氯化氢由氯与氢合成,以氯气为原料,扩产氯化氢必须先提升氯气产能。氯化氢用于晶圆清洗、刻蚀及外延层沉积,可将晶圆表面残留金属离子与氧化物转化为挥发性氯化物去除,逻辑代工需求高于存储器。行业消息称,三星近期要求PKC增加氯化氢供应,并将其应用范围从仅DRAM扩大至全部NAND与代工工艺。
电子气体是半导体产业制造用的超高纯特种气体,被誉为芯片的“血液”,其纯度要求高,生产难度大,一般电子级的气体要求5N(99.999%)起步,先进制程需6N(99.9999%)甚至更高,一条12寸晶圆线约用50种电子气体,包括氟基、硅基、掺杂类气体等,是半导体制造核心材料。
随着全球半导体产业快速复苏、AI芯片与先进制程需求集中爆发,叠加中东地缘局势持续紧张,今年以来电子级气体供应紧张的消息不断。其中,高纯氦气、六氟化钨、高纯氯化氢、氖气、三氟化氮等关键电子特气供需矛盾尤为突出,价格大幅上涨,部分品种甚至出现现货断供风险,已成为制约先进制程产能释放的重要瓶颈。
以高纯氦气为例,今年3月,卡塔尔拉斯拉凡工业城遭袭,全球30%—35%氦气产能瘫痪,此外,俄罗斯在今年4月又对氦气出口实施管制,导致全球半导体制造所需氦气供应紧张。
近期,六氟化钨和电子级氟化氢两种气体出现供应缺口。其中,六氟化钨价格出现暴涨,海关总署披露的数据显示,2026年4月半导体核心电子气体六氟化钨出口均价达149.79美元/公斤,同比上涨28.33%,环比暴涨203.83%,涨价幅度超预期。
氟化氢方面,由于中东局势紧张,导致硫磺供应中断,直接推高硫磺、硫酸以及无水氟化氢的价格,无水氟化氢作为半导体级氢氟酸的核心原料,年内价格涨幅已达约40%。媒体报道称,韩国半导体氢氟酸供应链承压,已开始为进口自中国的无水氟化氢支付大幅上涨的采购价格。
华泰证券 研报表示,电子气体是芯片制造的关键原料,存储等新需求有望推动行业景气。据SEMI,2020年电子特气占晶圆制造成本的13%,仅次于硅片。随着芯片向3D NAND及HBM的多层结构、先进制程以及先进封装方向发展,电子气体需求未来有望持续增长。
电子级氯气方面,沪深策略根据公开资料梳理,多家上市公司已布局相关业务。
滨化股份 5月18日的调研纪要显示,公司电子级氯气中试项目通过专家验收,将加快6N级电子级氯气、电子级盐酸和电子级氟化氢研发落地及商业化。
联泓新科 2025年年报显示,公司电子级高纯特气装置主要产品超高纯电子级氯化氢、 电子级氯气质量优异,供应台积电、上海新昇等行业领先企业。
湖北宜化 在5月18日的调研纪要中表示,在电子化学品方面,公司重点发展电子级氢氟酸、磷酸、硫酸、双氧水等湿电子化学品和电子级氯气、氯化氢、硅烷等电子特气。
和远气体 2025年年报显示,公司潜江电子特气产业园的“电子级超纯氨、高纯氢、电子级氯化氢、电子级氯气、电子级甲烷、电子级一氧化碳、高纯羰基硫等电子特气及电子化学品”等产品已经全部投产。
此外, 中巨芯 、 金宏气体 、 华特气体 均是电子级氯气相关生产企业。
从工业气体概念股表现来看,受供应紧张影响,相关概念股年内大幅上涨。其中, 中船特气 年内股价涨幅超330%,公司是国内六氟化钨龙头; 华特气体、 三孚股份 、 广钢气体 等年内股价翻番,其中华特气体是国内电子特气国产龙头,截至2025年底,公司实现进口替代的产品已增至57款。
今年以来,有10家工业气体上市公司获得机构调研, 华特气体、金宏气体、广钢气体、中船特气 参与调研的机构数均超100家, 蜀道装备 、 杭氧股份 、 福斯达 、 正帆科技 参与调研的机构均在20家以上。
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